國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示，聚燦光電科技（宿遷）有限公司申請一項(xiàng)名為 " 一種基于鎂涂層與曝空氣的 MOCVD 反應(yīng)腔復(fù)機(jī)預(yù)處理方法 " 的專利，公開號(hào) CN121826646A，申請日期為 2025 年 12 月。

專利摘要顯示，本發(fā)明公開了一種基于鎂涂層與曝空氣的 MOCVD 反應(yīng)腔復(fù)機(jī)預(yù)處理方法，旨在解決 MOCVD 設(shè)備在拆爐維護(hù)后，因反應(yīng)腔內(nèi)部件吸附雜質(zhì)導(dǎo)致復(fù)機(jī)所需假鍍時(shí)間長、首爐外延片亮度偏低的技術(shù)問題。該方法的核心步驟包括：首先，在高溫下向維護(hù)后的反應(yīng)腔內(nèi)通入鎂源氣體，使得鎂原子吸附并滲透至石墨盤等部件表面的微孔隙中；隨后，降低溫度并主動(dòng)向反應(yīng)腔內(nèi)通入空氣或其他含氧氣體，促使吸附的鎂與氧氣發(fā)生反應(yīng)，原位生成致密且穩(wěn)定的氧化鎂鈍化層，從而將殘留雜質(zhì)有效封鎖。采用本發(fā)明的方法進(jìn)行預(yù)處理，能夠顯著縮短機(jī)臺(tái)復(fù)機(jī)時(shí)間，極大減少昂貴 MO 源的浪費(fèi)，實(shí)現(xiàn)維護(hù)后第一爐外延產(chǎn)品的亮度即達(dá)到量產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)。

天眼查資料顯示，聚燦光電科技（宿遷）有限公司，成立于 2017 年，位于宿遷市，是一家以從事儀器儀表制造業(yè)為主的企業(yè)。企業(yè)注冊資本 300000 萬人民幣。通過天眼查大數(shù)據(jù)分析，聚燦光電科技（宿遷）有限公司共對外投資了 1 家企業(yè)，參與招投標(biāo)項(xiàng)目 43 次，財(cái)產(chǎn)線索方面有商標(biāo)信息 1 條，專利信息 238 條，此外企業(yè)還擁有行政許可 42 個(gè)。

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作者：情報(bào)員